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上海微系統(tǒng)所衛(wèi)星激光通信用高精度MEMS快反鏡取得進展

每日經(jīng)濟新聞 2025-05-07 10:37:35

每經(jīng)AI快訊，據(jù)“中國科學院上海微系統(tǒng)”公眾號消息，中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所傳感器技術全國重點實驗室在集成角度傳感器的高性能MEMS快反鏡研制方面取得重要進展。制備的MEMS快反鏡鏡面尺寸大，封裝體積小，并具備良好的線性度、角分辨率、響應速度、重復定位精度和鏡面動態(tài)形變，同時集成了高靈敏度角度傳感器，能夠實現(xiàn)更精確的激光光束閉環(huán)控制，在激光衛(wèi)星通信方面具有巨大的應用潛力。

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