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至純科技:公司在半導體濕法設備領域注重進口替代,對標國際主流半導體濕法設備供應商

每日經濟新聞 2023-11-27 17:33:59

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:公司領導:貴公司是國內半導體清洗設備龍頭,那么,公司在國內的主要競爭對手有哪些?公司的清洗設備技術在國內處于領先地位還是一流地位?謝謝!

至純科技(603690.SH)11月27日在投資者互動平臺表示,公司在半導體濕法設備領域注重進口替代,對標國際主流半導體濕法設備供應商。公司半導體濕法設備聚焦芯片制造的前道工藝,在28納米工藝工序段已全部覆蓋并均有訂單,在更先進制程也有數臺設備獲得訂單。在工藝技術難度較高的高溫硫酸、FIN ETCH、單片磷酸等尚被國際廠商壟斷的機臺,公司交付和驗證進度都在國內領先。

(記者 蔡鼎)

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